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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
入职时间：2009-07-22
所在单位：电子科学与技术学院（国家示范性微电子学院）
职务：系副主任
学历：博士研究生毕业
性别：男
学位：工学博士学位
在职信息：在职
主要任职：微电子与集成电路系
毕业院校：清华大学
一种基于机器学习的富勒烯薄膜缺陷检测方法及采集系统
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所属单位：电子科学与技术学院（国家示范性微电子学院）
专利范围：国内
申请专利人：李鑫,林辉煌
专利类型：发明专利
专利状态：专利授权
申请号：202411965458.0
授权号：202411965458.0
是否职务专利：是
申请日期：2025-10-14
第一作者：李鑫