• 其他栏目

    肖理业

    • 副教授 博士生导师 硕士生导师
    • 电子邮箱：
    • 所在单位：电子科学与技术学院（国家示范性微电子学院）
    • 学历：博士研究生毕业
    • 办公地点：厦门大学翔安校区文宣楼
    • 联系方式：liyexiao16@xmu.edu.cn
    • 学位：理学博士学位
    • 在职信息：在职
    • 毕业院校：电子科技大学

    访问量：

    开通时间：..

    最后更新时间：..

    当前位置： 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果
    A Novel Optical Proximity Correction (OPC) System Based on Deep Learning Method for the Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography

  • 点击次数：

    • 发表刊物：PROGRESS IN ELECTROMAGNETICS RESEARCH-PIER

    第一作者：肖理业

    论文类型：Article

    卷号：176

    页面范围：95-108

    是否译文：否


    版权：厦门大学