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    肖理业

    • 副教授 博士生导师 硕士生导师
    • 电子邮箱：
    • 所在单位：电子科学与技术学院（国家示范性微电子学院）
    • 学历：博士研究生毕业
    • 办公地点：厦门大学翔安校区文宣楼
    • 联系方式：liyexiao16@xmu.edu.cn
    • 学位：理学博士学位
    • 在职信息：在职
    • 毕业院校：电子科技大学

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    一种基于深度学习的用于超紫外光刻的模拟仿真方法

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    • 所属单位：电子科学与技术学院（国家示范性微电子学院）

    专利范围：国内

    申请专利人：易俊男,柳清伙

    专利类型：发明专利

    专利状态：专利申请,专利公开,专利授权,预申请

    申请号：202210020545.3

    授权号：202210020545.3

    是否职务专利：是

    第一作者：肖理业


    版权：厦门大学