一种基于机器学习的富勒烯薄膜缺陷检测方法及采集系统

Date:2024-11-20 clicks:

Affilication of Author(s):电子科学与技术学院（国家示范性微电子学院）

Scope of patent:国内

Patent Applicant:LX,林辉煌

Type of Patent:发明专利

State of Patent:专利授权

Application Number:202411965458.0

Authorization number:202411965458.0

Service Invention or Not:yes

Application Date:2025-10-14

First Author:LX

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